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前道制程设备1

2D全自动涂胶机 XMDA-800A  

产品参数

  • 基片尺寸
    ψ50mm~ψ200mm
  • Cassette 晶舟
    2-4个晶舟
  • Coater Unit 涂胶单元
    1、PR类型:正胶/ 负胶 ;2、光刻胶喷头 2 ~ 4 个; 3、EBR ( Edge Bead Remover ); 4、马达旋转速度 Max. 6,000rpm; 5、高精度定量泵浦≦0.1cc ( 100cp以下)
  • Robot Arm 机械手臂
    3轴; X1, X2, X3
  • Hot Plate热盘单元
    溫度50℃-180℃
  • Cooling Plate冷盘单元
    溫度18-28℃
  • 涂布机台尺寸
    D1400× W1500 × H2300 (mm)