显影单元

3-Pin升降（气缸升降/电机缓降）

显影喷嘴形状可定制

腔体排风单独可调 单元可处理PR或PI显影

显影液保温精度圮.2 °C （可选）

可实现动态及静态显影

Arm定位精度：±0.1mm

Chuck 端跳：＜0.02mm

Chuck 表面温度:23°C±o"