涂胶单元

最大可支持3路光阻，可独立涂覆PR或PI

胶嘴自动切换，胶路保温功能（可选）

CUP自动清洗，胶嘴保湿功能（可选）

PR类型：正胶/ 负胶； EBR ( Edge Bead Remover ) 精准控制到0.1mm；

光刻胶恒温控制到喷嘴；

高精度定量泵浦吐出量误差≦0.05cc ( 100cp以下),    

下进上出式管状隔膜泵不易藏气泡