产品介绍
◆ XM-C100 是一款 2~4吋 全自动 Coater 光刻胶涂布机
◆ XM-C200是一款 6~8吋 全自动 Coater光刻胶涂布机
设备特点
◆ 模块化设计, 可依客户客制化工艺生产需求为导向，
从设计开发、机台组装、测试、机台安装到售后服务。
◆ Through-Put 产能每小时 75片
◆ Uptime >=95%
◆ 减少药液使用量
工艺流程
◆ Cassette -> AD -> COL -> Coating -> Soft Baking -> Cassette
◆ 采用高精度旋转马达 ( Spin Motor )
◆ 采用高精度定量泵浦
◆ 精准药液温度控制
◆ 根据不同的产品可选不同的药液
◆ 制程空间采用FFU, 使其洁净度达到10级要求
应用领域
◆ 2吋、4吋、 6吋和8吋，应用于半导体前段黄光制程、 后段封装制
程、MEMS、 LED 和 OLED。
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基片尺寸ψ50mm～ψ200mm
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Cassette 晶舟2-4个晶舟
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Coater Unit 涂胶单元1、PR类型：正胶/ 负胶 ；2、光刻胶喷头 2 ~ 4 个； 3、EBR ( Edge Bead Remover )； 4、马达旋转速度 Max. 6,000rpm； 5、高精度定量泵浦≦0.1cc ( 100cp以下)
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Robot Arm 机械手臂3轴; X1, X2, X3
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Hot Plate热盘单元溫度50℃-180℃
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Cooling Plate冷盘单元溫度18-28℃
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机台尺寸D(1200+2410)× W1700 × H2300 (mm)
