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产品介绍
 ◆ XM-C100 是一款 2~4吋 全自动 Coater 光刻胶涂布机
 ◆ XM-C200是一款 6~8吋 全自动 Coater光刻胶涂布机
设备特点
 ◆ 模块化设计, 可依客户客制化工艺生产需求为导向,
 从设计开发、机台组装、测试、机台安装到售后服务。
 ◆ Through-Put 产能每小时 75片
 ◆ Uptime >=95%
 ◆ 减少药液使用量
工艺流程
 ◆ Cassette -> AD -> COL -> Coating -> Soft Baking -> Cassette
 ◆ 采用高精度旋转马达 ( Spin Motor )
 ◆ 采用高精度定量泵浦
 ◆ 精准药液温度控制
 ◆ 根据不同的产品可选不同的药液
 ◆ 制程空间采用FFU, 使其洁净度达到10级要求
应用领域
 ◆ 2吋、4吋、 6吋和8吋,应用于半导体前段黄光制程、 后段封装制 
 程、MEMS、 LED 和 OLED。

产品参数

  • 基片尺寸
    ψ50mm~ψ200mm
  • Cassette 晶舟
    2~4个晶舟
  • Coater Unit 涂胶单元
    1、PR类型:正胶/ 负胶 ;2、光刻胶喷头 2 ~ 4 个; 3、EBR ( Edge Bead Remover ); 4、马达旋转速度 Max. 6,000rpm; 5、高精度定量泵浦≦0.1cc ( 100cp以下)
  • Robot Arm 机械手臂
    3轴; X1, X2, X3
  • Hot Plate热盘单元
    溫度50℃-180℃
  • Cooling Plate冷盘单元
    溫度18-28℃
  • 机台尺寸
    W1400 × D1400 × H1850 (mm)