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产品介绍
◆ XM-D100是一款 2~4吋 全自动 Developer 显影机
◆ XM-D200是一款 6~8吋 全自动 Developer 显影机
设备特点
◆ 模块化设计, 可依客户客制化工艺生产需求为导向,
从设计开发、机台组装、测试、机台安装到售后服务。
◆ Through-Put 产能每小时60片
◆ Uptime >=95%
◆ 精准药液温度控制
工艺流程
◆ Cassette -> PEB -> COL -> Developing -> HP -> Cassette
◆ 采用高精度旋转马达 ( Spin Motor )
◆ 根据不同的产品工艺可选不同的显影喷头
◆ 制程空间采用FFU, 使其洁净度达到10级要求
应用领域
◆ 2吋、4吋、 6吋和8吋,应用于半导体前段黄光制程、 后段封装制
程、MEMS、 LED 和 OLED。
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显影机基片尺寸ψ50mm~ψ300mm
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Cassette 晶舟2-4个晶舟
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Developer 显影单元1、可应用喷头 Spray, Stream, E2 , H ; 2、马达旋转速度 Max. 5,000rpm
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Robot Arm 机械手臂3轴; X1, X2, X3
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Hot Plate热盘单元溫度50℃-180℃
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Cooling Plate冷盘单元溫度18-28℃
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机台尺寸D(1200+2410)× W1700 × H2300 (mm)