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首页    显影设备    全自动 Coater&Developer(涂布显影设备)
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产品介绍
 ◆ XM-D100是一款 2~4吋 全自动 Developer 显影机
 ◆ XM-D200是一款 6~8吋 全自动 Developer 显影机
设备特点
 ◆ 模块化设计, 可依客户客制化工艺生产需求为导向,
 从设计开发、机台组装、测试、机台安装到售后服务。
 ◆ Through-Put 产能每小时60片
 ◆ Uptime >=95%
 ◆ 精准药液温度控制
工艺流程
 ◆ Cassette -> PEB -> COL -> Developing -> HP -> Cassette
 ◆ 采用高精度旋转马达 ( Spin Motor )
 ◆ 根据不同的产品工艺可选不同的显影喷头
 ◆ 制程空间采用FFU, 使其洁净度达到10级要求
应用领域
 ◆ 2吋、4吋、 6吋和8吋,应用于半导体前段黄光制程、 后段封装制
 程、MEMS、 LED 和 OLED。

产品参数

  • 显影机基片尺寸
    ψ50mm~ψ300mm
  • Cassette 晶舟
    2~4个晶舟
  • Developer 显影单元
    1、可应用喷头 Spray, Stream, E2 , H ; 2、马达旋转速度 Max. 5,000rpm
  • Robot Arm 机械手臂
    3轴; X1, X2, X3
  • Hot Plate热盘单元
    溫度50℃-180℃
  • Cooling Plate冷盘单元
    溫度18-28℃
  • 机台尺寸
    W1400 × D1400 × H1850 (mm)