用于黏度较高的制程(PI制程等)，减少气泡的发生，节省光阻，提升良率 聚亚胺贮器藉由将输入先端改为U形管的形式，使得进入聚亚胺贮器之聚亚胺与空气接触的时间增长 且面积增加，藉次抑制胶化物产生;且由于聚亚胺细沿着U形管进入聚亚胺贮器中，其可避免以往因 为高度落差所产生的气泡。