硅片搬運手臂 (機械手臂)- 芯米（厦门）半导体设备有限公司

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為掌控機台的核心技術之一, 自行研發硅片搬運手臂 (機械手臂)
1. 三支硅片交換手臂避免硅片之間的熱幅射干擾

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