2C2D全自动涂胶显影机 XM-300系列

Track for LED
全自动涂胶显影机

Lift off / Clean / Etch
去胶剥离 / 清洗 / 刻蚀机

Track for Compound
全自动涂胶显影机

专用于半导体黄光制程，在光阻过滤器安装至涂胶显影设备前进行离线预湿处理，大幅降低光刻胶损耗，减少particle良率影响，提升机台稼动率 。

1、一站式芯片制作及应用领域的科普教育平台；
2、集成了匀胶、烘烤、光刻、显影、刻蚀、掺杂等功能的半导体工艺技术；
3、教学功能集成（易学，易懂，易操作，易管理）；
4、选配化学液管理、CCTV监控、穿着识别等功能.
5、适用于高中，职业院校、大学以及科普教育实验基地教学用途；
6、玻璃掩膜、硅基无源器件、硅基PN结、硅基简易芯片、薄膜晶体管、光敏电阻、双极型晶体管、厚膜混合芯片、PCB线路板等半导体产品.