企业简介
芯米2019年1月成立于厦门火炬高新(翔安)产业区,是领军型双百人才落地企业,国家高新技术企业,专精特新技术企业,种子独角兽企业等,也是国内首家COWOS工艺专用涂胶显影设备供应商及国内自研12吋涂胶显影设备的核心力量。
2025年,公司相继获得厦门市重点上市后备企业、厦门市工业设计中心(市级)认证、未来产业骨干认证、绿色低碳认证四项官方认定,其中2025年11月入选厦门市重点上市后备企业,2026年8月入选厦门火炬高新区“瞪羚企业”,一系列认证标志着芯米在技术实力、产业引领及资本对接等方面获得了官方充分肯定。
芯米研发及生产总部坐落于厦门,厂房面积2500㎡,设有独立的研发实验室,研发场所近1000㎡。公司技术核心源自台湾半导体设备前沿超30年的涂胶显影设备研发经验,研发团队从业资历均在20年以上,整合了日本技术、台湾机构、PLC电控、PC影像处理等多领域专业人才,具备深厚的黄光微影制程工艺积累。
主导的研发项目大多已实现成果转化,累计拥有专利总计100+项,其中42项为发明专利; 在核心技术自主化方面,芯米半导体已完成涂胶显影机内部90%核心部件的自主设计研发,关键零部件国产化率超过90%,成功打破了国外在相关零部件上的长期垄断。其涂胶显影设备涵盖温湿度控制、热盘、光刻胶供应系统、中空轴马达、机械手臂、光刻胶PUMP等,均拥有自主知识产权,关键参数达到国际先进水平,目前可批量生产2至12吋全系列产品。
根据SEMI数据,预计2024-2025年中国大陆半导体设备市场规模占比分别为29%、30%。其中涂胶显影国产设备<5%,国产替代紧迫且空间巨大。
芯米愿景
目前芯米已可以批量生产2~12英寸的产品设备,部件应用国产化率超过90%。
针对国产设备关键技术被国外“卡脖子”等严峻问题,芯米开发设计出晶圆制造黄光制程Coater& Developer(涂布显影)系列设备,致力于为客户提供国际领先的半导体光刻制程技术服务及整体工艺解决方案,在关键零部件上打破国外长期垄断,实现核心零部件国产化。
截至目前,芯米各系列产品已在新加坡及国内一线大厂完成验证,4/6吋、6/8吋、12吋产品已交付30余台并稳定运行1至5年,重复订单及批量订单增长稳定。4至8吋设备已广泛应用于光电、硅基显示、MEMS、IGBT、分立器件等领域。
芯米也将做好了快速发展准备,积极与各界友商合作共同成长。
半导体装备与工艺整体解决生产商
SEMICONDUCTOR EQUIPMENT
芯米(厦门)半导体设备有限公司
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