(1) Spin coater & spray coater function(可选);
(2) 最大可支持4路光阻；
(3) 胶嘴自动切换，胶路保温功能(可选);
(4) CUP自动清洗，胶嘴保湿功能(可选);
(5) EBR(Edge Bead Removal) ,BSR function(可选);
(6) 光刻胶恒温控制喷嘴(可选);
(7) 可支持方片或圆片；
(8) 厚胶工艺最大支持10000以上CPS粘稠度.
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尺寸/功能根据客户要求定制
(1) Spin coater & spray coater function(可选);
(2) 最大可支持4路光阻；
(3) 胶嘴自动切换，胶路保温功能(可选);
(4) CUP自动清洗，胶嘴保湿功能(可选);
(5) EBR(Edge Bead Removal) ,BSR function(可选);
(6) 光刻胶恒温控制喷嘴(可选);
(7) 可支持方片或圆片；
(8) 厚胶工艺最大支持10000以上CPS粘稠度.
