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ꄴ上一个： 无
ꄲ下一个： 热盘&冷盘单元

优势：避免光刻胶热干扰，提升良率;

自行研发硅片搬运手臂 (机械手臂); 3支fork交换手臂，效率高;

自制手臂性价比高，支持客制化扩展，且易于维护.

产品参数

半导体装备与工艺整体解决生产商
SEMICONDUCTOR EQUIPMENT

芯米(厦门)半导体设备有限公司 
Ximi (Xiamen) Semiconductor Equipment Co., Ltd.

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