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核心优势 (1) 支持单支 / 多支过滤器批量清洗
(2) 搭载IWAKI泵与CKD阀门，实现精密药液输送
(3) 灵活配置清洗模式与药液循环模式
(4) 15 英寸触控人机界面，可自由编写过滤器清洗工艺配方
(5) 手持式扫码枪，用于识别过滤器 ID
(6) 配备 SECS2/GEM 通讯接口，实现工厂 CIM系统对接
(7) 符合 SEMI S2/S10 安全标准规范
产品参数
