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半导体光刻工艺平台
1、一站式芯片制作及应用领域的科普教育平台;
2、集成了匀胶、烘烤、光刻、显影、刻蚀、掺杂等功能的半导体工艺技术;
3、教学功能集成(易学,易懂,易操作,易管理);
4、选配化学液管理、CCTV监控、穿着识别等功能.
5、适用于高中,职业院校、大学以及科普教育实验基地教学用途;
6、玻璃掩膜、硅基无源器件、硅基PN结、硅基简易芯片、薄膜晶体管、光敏电阻、双极型晶体管、厚膜混合芯片、PCB线路板等半导体产品.
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桌上型晶圆冷却盘
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柜式晶圆烘烤盘
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